顶空测氧分析仪是一种特殊的顺磁性气体，既氧气在磁场中受到吸引力，在测量单元中，氧气的浓度可通过悬挂在非线性磁场中的哑铃的偏转量来测量，氧气的浓度越大，哑铃偏转静止位置越大。
顶空测氧分析仪采用了先进的进口高性能电化学传感器，与新型微机技术相结合，是新型智能化工业手套箱可用顶空测氧分析仪。有寿命长、精度高、响应时间快的特点，不受其他气体成分的干扰。而在进行微量氧分析时，由于空气中氧含量高达21%，故而如果处理不当易造成对样品的污染和干扰，出现分析结果数据不正常。
在进行微量氧分析时，由于空气中氧含量高，故而如果处理不当极易造成对样品的污染和干扰，出现分析结果数据不正常，一些因素可能会影响测量使用，比如：
1、背景气干扰
如燃料电池式分析仪，不同的主背景气(与背景气的摩尔质量有关)，会影响分析结果。并且少量的氢气也会对分析结果产生较大的影响。
对于样气中含有微量酸性气体的情况，只有特殊型式的赫兹电池式氧分析仪才能排除于扰，防止传感器中毒，给出正确分析数据。其他燃料电池式氧分析仪均不能用于酸性气体分析。
2、干扰杂质影响
干扰杂质主要指除背景气和待测组分外存在的少量未知杂质，如燃料电池式微氧仪对酸性、氧化性气体敏感，如果气体中含有酸性气体成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，则燃料池传感器易中毒失效。而微量的还原性气体对氧化锆式微氧仪的分析结果产生影响，最近又发现微量的N2O对顶空测氧分析仪产生影响，所以在检测时要充分考虑到杂质的存在，选择恰当的分析仪，才能得到准确的结果。
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